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項(xiàng)目 |
HD-U3020G |
HD-U4030G |
HD-U5040G |
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測(cè)量行程(mm) |
300*200*200 |
400*300*200 |
500*400*200 |
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外形尺寸(mm) |
1300*920*1600 |
1400*1020*1600 |
1500*1120*1600 |
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儀器重量(Kg) |
440 |
520 |
600 |
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測(cè)量精度(μm) |
E(x,Y):1.7+L/200 E(Z):5+L/200 (L單位mm) |
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重復(fù)精度(μm) |
3 |
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玻璃承載(Kg) |
30 |
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放大倍率 |
0.7~4.5X高清晰卡位變倍鏡頭,影像放大34~220X |
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光柵尺分辨率 |
0.1μm |
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CCD |
進(jìn)口高清晰彩色攝像機(jī) |
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傳動(dòng)方式 |
THK精密直線導(dǎo)軌+研磨滾珠絲桿 |
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運(yùn)動(dòng)控制 |
松下伺服電機(jī) |
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面光源 |
5環(huán)40區(qū)表面環(huán)形LED冷光源,亮度可調(diào) |
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輪廓光源 |
平行光路設(shè)計(jì),無(wú)極連續(xù)可調(diào)LED冷光源 |
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測(cè)量軟件 |
自動(dòng)測(cè)量軟件 |
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操作方式 |
程序控制+搖桿 |
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工作環(huán)境 |
溫度:20℃±2℃,濕度30-80%,遠(yuǎn)離振動(dòng):<0.002g,低于15Hz |
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電源 |
單相AC 220V/50Hz/10A |
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13544641555